Estudio de películas delgadas de AlN depositadas mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo : efecto de la presión en la textura

por García Molleja, Javier, Gómez, Bernardo Jose Armando, Abdallah, Bassam, Djouadi, Mohamed Abdou, Feugeas, Jorge Néstor, Jouan, Pierre-Yves
Publicado 2015