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Estudio de películas delgadas de AlN depositadas mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo : efecto de la presión en la textura

por García Molleja, Javier, Gómez, Bernardo Jose Armando, Abdallah, Bassam, Djouadi, Mohamed Abdou, Feugeas, Jorge Néstor, Jouan, P. -Y.
Publicado 2015

Aportado por: Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA)

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Estudio de películas delgadas de AlN depositadas mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo : efecto de la presión en la textura

por García Molleja, Javier, Gómez, Bernardo Jose Armando, Abdallah, Bassam, Djouadi, Mohamed Abdou, Feugeas, Jorge Néstor, Jouan, Pierre-Yves
Publicado 2015

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