Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO

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Se ha fabricado con éxito un sensor de humedad basado en CuO. Se sintetizaron películas delgadas de nanoarroces deCuO mediante el método de reacción y adsorción de capa iónica sucesiva (SILAR) sobre obleas de silicio con una capa delgada de Si3N4 como sustrato. La microestructura y la morfología de...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Perillo, P. M., Rodríguez, D. F.
Lenguaje:Español
Publicado: 2021
Materias:
CUO
NANOARROCES
SILAR
SENSOR DE HUMEDAD
ESPECTROSCOPIA DE IMPEDANCIA
NANORICES
HUMIDITY SENSOR
IMPEDANCE SPECTROSCOPY
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v32_n03_p076
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
id todo:afa_v32_n03_p076
record_format dspace
spelling todo:afa_v32_n03_p0762023-10-03T13:25:43Z Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO Humidity sensor using CuO nanorices thin film Perillo, P. M. Rodríguez, D. F. CUO NANOARROCES SILAR SENSOR DE HUMEDAD ESPECTROSCOPIA DE IMPEDANCIA CUO NANORICES SILAR HUMIDITY SENSOR IMPEDANCE SPECTROSCOPY Se ha fabricado con éxito un sensor de humedad basado en CuO. Se sintetizaron películas delgadas de nanoarroces deCuO mediante el método de reacción y adsorción de capa iónica sucesiva (SILAR) sobre obleas de silicio con una capa delgada de Si3N4 como sustrato. La microestructura y la morfología de las muestras se investigaron mediante difracción de rayos X (XRD) y microscopía electrónica de barrido (SEM). Se han estudiado las propiedades de detección de humedad de las películas delgadas. La respuesta de detección se ha medido en el rango de humedad relativa (HR) de 20 hasta 80 % a temperatura ambiente. Se encontró que la impedancia del sistema disminuye a medida que aumenta la HR. El sensor preparado reveló una buena reversibilidad con un tiempo de respuesta y recuperación de 130 s y 320 s respectivamente. Los espectros de impedancia compleja se analizaron en el rango de 0.1 a 1 kHz. Este tipo de sensor de humedad se puede utilizar como una nueva generación de sensores ecológicos, de bajo costo y buena estabilidad. Hace que el sensor sea candidato para aplicaciones prácticas In this paper a humidity sensor based on CuO has been successfully fabricated. Thin film of CuO nanorices were synthesized by Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) method on silicon wafer with Si3N4 thin layer as a substrate. The microstructure and morphology of the samples were investigated using X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). Humidity sensing properties of the thin films have been studied. The sensing response has been measured in the relative humidity (RH) range from 20 up to 80 % at room temperature. It was found that impedance of the system decreases as the RH was increased. The prepared sensor revealed good reversibility with response and recovery time of 130 s and 320 s respectively. The complex impedance spectra were analyzed in therange of 0.1 to 1 kHz. This type of humidity sensor can be used as a new generation of ecological sensors with low costand good stability. It makes the sensor a candidate for practical applications. Fil: Perillo, P. M.. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Constituyentes (CNEA). Departamento de Micro y Nanotecnología. Buenos Aires. Argentina Fil: Rodríguez, D. F.. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Constituyentes (CNEA). Departamento de Micro y Nanotecnología. Buenos Aires. Argentina 2021-10 PDF Español info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v32_n03_p076
institution Universidad de Buenos Aires
institution_str I-28
repository_str R-134
collection Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA)
language Español
orig_language_str_mv Español
topic CUO
NANOARROCES
SILAR
SENSOR DE HUMEDAD
ESPECTROSCOPIA DE IMPEDANCIA
CUO
NANORICES
SILAR
HUMIDITY SENSOR
IMPEDANCE SPECTROSCOPY
spellingShingle CUO
NANOARROCES
SILAR
SENSOR DE HUMEDAD
ESPECTROSCOPIA DE IMPEDANCIA
CUO
NANORICES
SILAR
HUMIDITY SENSOR
IMPEDANCE SPECTROSCOPY
Perillo, P. M.
Rodríguez, D. F.
Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO
topic_facet CUO
NANOARROCES
SILAR
SENSOR DE HUMEDAD
ESPECTROSCOPIA DE IMPEDANCIA
CUO
NANORICES
SILAR
HUMIDITY SENSOR
IMPEDANCE SPECTROSCOPY
description Se ha fabricado con éxito un sensor de humedad basado en CuO. Se sintetizaron películas delgadas de nanoarroces deCuO mediante el método de reacción y adsorción de capa iónica sucesiva (SILAR) sobre obleas de silicio con una capa delgada de Si3N4 como sustrato. La microestructura y la morfología de las muestras se investigaron mediante difracción de rayos X (XRD) y microscopía electrónica de barrido (SEM). Se han estudiado las propiedades de detección de humedad de las películas delgadas. La respuesta de detección se ha medido en el rango de humedad relativa (HR) de 20 hasta 80 % a temperatura ambiente. Se encontró que la impedancia del sistema disminuye a medida que aumenta la HR. El sensor preparado reveló una buena reversibilidad con un tiempo de respuesta y recuperación de 130 s y 320 s respectivamente. Los espectros de impedancia compleja se analizaron en el rango de 0.1 a 1 kHz. Este tipo de sensor de humedad se puede utilizar como una nueva generación de sensores ecológicos, de bajo costo y buena estabilidad. Hace que el sensor sea candidato para aplicaciones prácticas
author Perillo, P. M.
Rodríguez, D. F.
author_facet Perillo, P. M.
Rodríguez, D. F.
author_sort Perillo, P. M.
title Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO
title_short Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO
title_full Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO
title_fullStr Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO
title_full_unstemmed Sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de CuO
title_sort sensor de humedad usando películas delgadas de nanoarroces de cuo
publishDate 2021
url https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v32_n03_p076
work_keys_str_mv AT perillopm sensordehumedadusandopeliculasdelgadasdenanoarrocesdecuo
AT rodriguezdf sensordehumedadusandopeliculasdelgadasdenanoarrocesdecuo
AT perillopm humiditysensorusingcuonanoricesthinfilm
AT rodriguezdf humiditysensorusingcuonanoricesthinfilm
_version_ 1782030686093312000

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