Estudio de películas de TiO₂ decapadas por bombardeo iónico

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El propósito de este trabajo es el estudio del cambio químico inducido por el bombardeo iónico de películas de TiO₂ crecidas sobre Ti policristalino de alta pureza. Los cambios químicos en la superficie bombardeada fueron seguidos mediante AES y los espectros fueron analizados mediante la técnica de...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Vaquila, I., Barco, J. L. del
Lenguaje:Español
Publicado: 1993
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v05_n01_p441
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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spelling todo:afa_v05_n01_p4412023-10-03T13:21:25Z Estudio de películas de TiO₂ decapadas por bombardeo iónico Vaquila, I. Barco, J. L. del El propósito de este trabajo es el estudio del cambio químico inducido por el bombardeo iónico de películas de TiO₂ crecidas sobre Ti policristalino de alta pureza. Los cambios químicos en la superficie bombardeada fueron seguidos mediante AES y los espectros fueron analizados mediante la técnica de análisis de Factores aplicada en forma secuencial. El estudio permitió encontrar la secuencia que sigue la reducción del TiO₂ por bombardeo iónico: TiO₂ → Ti₂O₃ → TiO →→ Ti Chemical changes induced by ion-bombardment on TIO₂, films grown over high purity polycristalline Ti has been followed by the use of Auger Electron Spectroscopy and analyzed through Factor Analysis technique applied in sequential mode. Our results indicate that TiO₂, is reduced by ion-bombardment followin the sequency: TiO₂ → Ti₂ O₃ → TiO → Ti. Fil: Vaquila, I.. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Barco, J. L. del. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina 1993 PDF Español info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v05_n01_p441
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