Sensores de temperatura de película delgada

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Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fu...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Broitman, Esteban Daniel, Latorre, D., Zimmerman, Rosa
Lenguaje:Español
Publicado: 1989
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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spelling todo:afa_v01_n01_p3362023-10-03T13:19:02Z Sensores de temperatura de película delgada Broitman, Esteban Daniel Latorre, D. Zimmerman, Rosa Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos Fil: Broitman, Esteban Daniel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física. (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina Fil: Latorre, D.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física. (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina Fil: Zimmerman, Rosa. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física. (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina 1989 PDF Español info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336
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