Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados

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En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Rava, David, Ferrero, Hugo Eduardo, Fidalgo, Luis Enrique, Agüero, Mónica Beatriz, Hnilo, Alejandro Andrés, Kovalsky, Marcelo Gregorio
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 2014
Materias:
MICROMAQUINADO LASER
OBLEAS DE SILICIO
LASER DE ND:YAG
LASER MICROMACHINING
SILICON WAFER
ND:YAG LASER
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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spelling afa:afa_v25_n02_p0912025-12-11T17:00:06Z Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2014;02(25):91-95 Rava, David Ferrero, Hugo Eduardo Fidalgo, Luis Enrique Agüero, Mónica Beatriz Hnilo, Alejandro Andrés Kovalsky, Marcelo Gregorio MICROMAQUINADO LASER OBLEAS DE SILICIO LASER DE ND:YAG LASER MICROMACHINING SILICON WAFER ND:YAG LASER En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control In this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effect Fil: Rava, David. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina Fil: Ferrero, Hugo Eduardo. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina Fil: Fidalgo, Luis Enrique. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina Fil: Agüero, Mónica Beatriz. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina Fil: Hnilo, Alejandro Andrés. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina Fil: Kovalsky, Marcelo Gregorio. Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina Asociación Física Argentina 2014 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf spa info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091
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