Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios

En este trabajo se presentan resultados de espectroscopía de emisión de electrones secundarios inducida por electrones, en muestras de silicio poroso nanoestructurado. Cuando se emplea un proceso adecuado de preparación del material, el bombardeo iónico modifica en forma reversible los espectros de...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Ruano Sandoval, Gustavo Daniel, Ferrón, Julio, Koropecki, Roberto Román
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 2008
Materias:
SILICIO POROSO
EMISION ELECTRONICA
NANOESTRUCTURA
POROUS SILICON
ELECTRONIC EMISSION
NANOSTRUCTURE
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p104
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
id afa:afa_v20_n01_p104
record_format dspace
spelling afa:afa_v20_n01_p1042025-03-11T11:33:19Z Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios Oxidation effect over secondary electron emission of nanoporous silicon An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2008;01(20):104-109 Ruano Sandoval, Gustavo Daniel Ferrón, Julio Koropecki, Roberto Román SILICIO POROSO EMISION ELECTRONICA NANOESTRUCTURA POROUS SILICON ELECTRONIC EMISSION NANOSTRUCTURE En este trabajo se presentan resultados de espectroscopía de emisión de electrones secundarios inducida por electrones, en muestras de silicio poroso nanoestructurado. Cuando se emplea un proceso adecuado de preparación del material, el bombardeo iónico modifica en forma reversible los espectros de emisión electrónica. Se estudia la respuesta temporal de esta modificación, tanto para muestras recién preparadas como para muestras sometidas a distintos tiempos de oxidación. Se presentan resultados para muestras tanto tipo p como n parcialmente oxidadas. Cuando se utiliza silicio tipo n y se somete a las muestras anodizadas a un proceso de oxidación por un tiempo suficientemente largo, las modificaciones inducidas por bombardeo iónico son completamente reversibles. Los resultados se interpretan en términos de un modelo que tiene en cuenta por un lado el comportamiento de la pérdida de energía de iones y electrones, que conduce a la formación de dipolos, y por otro lado el efecto del bombardeo electrónico en la composición química de la superficie de la nanoestructura Electron induced secondary electron emission spectroscopy results for nanostructured silicon samples are presented. When the material is appropriately prepared, the ionic bombardment modifies the electron emission spectra in a reversible way. We study the time response of the modifications, for freshly prepared samples as well as for samples oxidized during different times. Results for both n and p-type partially oxidized nanostructured porous silicon samples are presented. The modification is completely reversible for n-type based nanoporous silicon oxidized during a long enough time. The results can be understood in terms of a model which takes into account on one side the dipole formation due to the electron and ion kinetic energy loss behavior, and the electron bombardment effect on pores surface chemical composition on the other side Fil: Ruano Sandoval, Gustavo Daniel. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Ferrón, Julio. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Koropecki, Roberto Román. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Asociación Física Argentina 2008 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf spa info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p104
institution Universidad de Buenos Aires
institution_str I-28
repository_str R-134
collection Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA)
language Español
orig_language_str_mv spa
topic SILICIO POROSO
EMISION ELECTRONICA
NANOESTRUCTURA
POROUS SILICON
ELECTRONIC EMISSION
NANOSTRUCTURE
spellingShingle SILICIO POROSO
EMISION ELECTRONICA
NANOESTRUCTURA
POROUS SILICON
ELECTRONIC EMISSION
NANOSTRUCTURE
Ruano Sandoval, Gustavo Daniel
Ferrón, Julio
Koropecki, Roberto Román
Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
topic_facet SILICIO POROSO
EMISION ELECTRONICA
NANOESTRUCTURA
POROUS SILICON
ELECTRONIC EMISSION
NANOSTRUCTURE
description En este trabajo se presentan resultados de espectroscopía de emisión de electrones secundarios inducida por electrones, en muestras de silicio poroso nanoestructurado. Cuando se emplea un proceso adecuado de preparación del material, el bombardeo iónico modifica en forma reversible los espectros de emisión electrónica. Se estudia la respuesta temporal de esta modificación, tanto para muestras recién preparadas como para muestras sometidas a distintos tiempos de oxidación. Se presentan resultados para muestras tanto tipo p como n parcialmente oxidadas. Cuando se utiliza silicio tipo n y se somete a las muestras anodizadas a un proceso de oxidación por un tiempo suficientemente largo, las modificaciones inducidas por bombardeo iónico son completamente reversibles. Los resultados se interpretan en términos de un modelo que tiene en cuenta por un lado el comportamiento de la pérdida de energía de iones y electrones, que conduce a la formación de dipolos, y por otro lado el efecto del bombardeo electrónico en la composición química de la superficie de la nanoestructura
format Artículo
Artículo
publishedVersion
author Ruano Sandoval, Gustavo Daniel
Ferrón, Julio
Koropecki, Roberto Román
author_facet Ruano Sandoval, Gustavo Daniel
Ferrón, Julio
Koropecki, Roberto Román
author_sort Ruano Sandoval, Gustavo Daniel
title Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
title_short Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
title_full Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
title_fullStr Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
title_full_unstemmed Efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
title_sort efecto de la oxidación de silicio nanoporoso sobre la emisión de electrones secundarios
publisher Asociación Física Argentina
publishDate 2008
url https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p104
work_keys_str_mv AT ruanosandovalgustavodaniel efectodelaoxidaciondesilicionanoporososobrelaemisiondeelectronessecundarios
AT ferronjulio efectodelaoxidaciondesilicionanoporososobrelaemisiondeelectronessecundarios
AT koropeckirobertoroman efectodelaoxidaciondesilicionanoporososobrelaemisiondeelectronessecundarios
AT ruanosandovalgustavodaniel oxidationeffectoversecondaryelectronemissionofnanoporoussilicon
AT ferronjulio oxidationeffectoversecondaryelectronemissionofnanoporoussilicon
AT koropeckirobertoroman oxidationeffectoversecondaryelectronemissionofnanoporoussilicon
_version_ 1831980710967115776

Ejemplares similares