Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico

En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una dismin...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Otero, Gonzalo, Sánchez, Esteban Alejandro
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 2002
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p176
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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spelling afa:afa_v14_n01_p1762025-03-11T11:31:18Z Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):176-179 Otero, Gonzalo Sánchez, Esteban Alejandro En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye a. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x10¹⁵ iones/cm²). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un a fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x10¹⁵ iones/cm2 y 20x10¹⁵ iones/cm², observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosis We studied the topographical changes on polycrystalline Al surfaces induced by 5 and 20 keV grazing Ar⁺ bombardment. At grazing incidence conditions the mechanism responsible for modification of surface topography is sputtering. The initial roughness of the surfaces (mechanical polished) can be removed by grazing Ar⁺ bombardment in the direction parallel to the beam path. For both studied energies (5 and 20 keV), this phenomenon is more important for low incidence angles and high doses Fil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Asociación Física Argentina 2002 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf spa info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p176
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