Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica

Se caracterizó el crecimiento de películas delgadas de fluoruro de aluminio (AlF₃) sobre superficies conductoras (aluminio y cobre) por espectroscopía de electrones Auger inducida por bombardeo de electrones. Se observó que el crecimiento de las películas es capa por capa. Se estudió la emisión elec...

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Autores principales: Otero, Gonzalo, Tognalli, Nicolás, Sánchez, Esteban Alejandro, Grizzi, Oscar, Ponce, Víctor Hugo
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 2002
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p171
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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spelling afa:afa_v14_n01_p1712025-03-11T11:31:17Z Interacción de iones con superficies de películas aislantes : emisión electrónica An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 2002;01(14):171-175 Otero, Gonzalo Tognalli, Nicolás Sánchez, Esteban Alejandro Grizzi, Oscar Ponce, Víctor Hugo Se caracterizó el crecimiento de películas delgadas de fluoruro de aluminio (AlF₃) sobre superficies conductoras (aluminio y cobre) por espectroscopía de electrones Auger inducida por bombardeo de electrones. Se observó que el crecimiento de las películas es capa por capa. Se estudió la emisión electrónica inducida por bombardeo rasante (α=1°) de protones a energía intermedia (60 keV) en función del espesor de la película (desde submonocapas hasta ~200Å). En particular, se centró la atención en los cambios observados en la distribución en energía de los electrones convoy, es decir, aquellos electrones que luego de la colisión con la superficie siguen al proyectil con velocidades similares. Se compararon estas distribuciones con las correspondientes a colisiones en fase gaseosa, discriminando de esta forma los efectos de los potenciales inducidos sobre la superficie, tanto para el caso del sustrato (conductor) como para el de la película aislante depositada We characterized the growth of thin AlF3 films over Al and Cu conducting surfaces by means of Auger Electron Spectroscopy induced by electron bombardment. We observed a layer by layer growth. We studied the changes produced in the electronic emission induced by grazing bombardment (α=1°) with intermediate energy protons (60 keV) as a function of the film thickness (from submonolayer coverage up to several layers ~200Å). In particular, we focussed our attention in the changes observed in the energy distribution of the convoy electrons, i.e., those electrons which after the collision with the surface follow the projectile with a similar velocity. We compared these distributions with the corresponding one in gas phase collisions. These measurements allowed discrimination of the effects of the potential induced on the surface, for both the conducting and the insulating surfaces Fil: Otero, Gonzalo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Tognalli, Nicolás. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Grizzi, Oscar. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Fil: Ponce, Víctor Hugo. Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro (UNCuyo-IB). Río Negro. Argentina Asociación Física Argentina 2002 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf spa info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p171
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