Cambios topográficos en superficies de Cu y de Al irradiadas con iones de gases nobles

Hemos usado la Microscopía de Fuerza Atómica para estudiar los cambios topográficos inducidos en la superficie de muestras de Cu y de Al irradiadas con Ar⁺ y He⁺ con 15 keV de energía. Los cambios topográficos fueron estudiados en función de la dosis de irradiación hasta una dosis máxima de 2x10¹⁷ i...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Menghini, Mariano A., Sánchez, Esteban Alejandro
Formato:	Artículo publishedVersion
Lenguaje:	Español
Publicado:	Asociación Física Argentina 1999
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v11_n01_p204
Aporte de:	Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires

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spelling	afa:afa_v11_n01_p2042025-03-11T11:30:22Z Cambios topográficos en superficies de Cu y de Al irradiadas con iones de gases nobles An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1999;01(11):204-207 Menghini, Mariano A. Sánchez, Esteban Alejandro Hemos usado la Microscopía de Fuerza Atómica para estudiar los cambios topográficos inducidos en la superficie de muestras de Cu y de Al irradiadas con Ar⁺ y He⁺ con 15 keV de energía. Los cambios topográficos fueron estudiados en función de la dosis de irradiación hasta una dosis máxima de 2x10¹⁷ iones/cm², y en función del ángulo de incidencia. En incidencia normal, los procesos que generan los cambios topográficos para el caso de Ar⁺ y de He⁺, son el sputtering y el blistering, respectivamente. En incidencia rasante, se observó la formación de estructuras conoidales, y que la rugosidad promedio de la superficie se reduce respecto de la original, para ángulos de incidencia menores que 3⁰ We have used Atomic Force Microscopy to study the topographical changes induced on Cu and Al surfaces by 15 keV Ar+ and He+ bombardment. The topographical changes were studied as a function of the irradiation dose up to a maximum dose of 2x10¹⁷ ions/cm², and as a function of the incidence angle. Under normal incidence, the processes responsible of the topographical changes for the case of Ar+ and He+ are sputtering and blistering, respectively. Under grazing incidence, we have observed the formation of cones, and that the mean surface roughness decreases with respect to the initial one, for incidence angles lower than 3⁰ Fil: Menghini, Mariano A. . Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche CNEA-CAB). Río Negro. Argentina Fil: Sánchez, Esteban Alejandro. Comisión Nacional de Energía Atómica. Centro Atómico Bariloche CNEA-CAB). Río Negro. Argentina Asociación Física Argentina 1999 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf spa info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v11_n01_p204
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