Sensores de temperatura de película delgada

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Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fu...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Broitman, Esteban Daniel, Latorre, Daniel Fernando, Zimmerman, Rosa
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 1989
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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