Fil.: del Corro, P. G. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto Balseiro. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Universidad Nacional de Cuyo; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina

Detalles Bibliográficos
Autores principales: del Corro, P. G., Imboden, M., Bishop, D. J., Pastoriza, H.
Otros Autores: Gerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas
Formato: ARTÍCULO publishedVersion
Lenguaje:Inglés
Publicado: IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) 2016
Materias:
Comb Drive Designs With Minimized Levitation
MEMS
LEVITACION
SUBSTRATOS
Comb drives
Levitation
Actuators
Acceso en línea:https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5511
Aporte de:
Nuclea - Repositorio Institucional de la Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA) de Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA)
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