Fil.: Salazar Alarcón, L. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
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Hindawi
2016
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I64-R170-20.500.12553-53922024-05-09T02:32:55Z Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures Salazar Alarcón, L. Martínez,E. D. Rodríguez, L. M. Pastoriza, H. RETRACCION MEMS ESPECTROSCOPIA DE RETRODIFUSION RUTHERFORD Shrinkage MEMS Rutherford backscattering spectroscopy Fil.: Salazar Alarcón, L. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina Fil.: Martínez, E. D. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina Fil.: Rodríguez, L. M. Comisión Nacional de Energía Atómica. Laboratorio de Colisiones Atómicas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina Fil.: Pastoriza, H. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina Hindawi Gerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas 2016-05-22 ARTÍCULO info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf https://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5392 1687-8434 1687-8442 eng v. 2016 Advances in Materials Science and Engineering |
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