id I64-R170-10665-2317
record_format dspace
spelling I64-R170-10665-23172022-10-21T13:34:47Z Pulverización catódica. Oliva Florio, Alberto R. CATHODE SPUTTERING ATOM COLLISIONS ANGULAR DEPENDENCY CREEP ROUGHNESS Fil: Oliva Florio, Alberto R. Comisión Nacional de Energía Atómica; Argentina Instituto de Física "Dr. J. A. Balseiro". Comisión Nacional de Energía Atómica (Argentina). Universidad Nacional de Cuyo (Argentina) Doctor en Física Universidad Nacional de Cuyo (Argentina). Instituto de Física "Dr. J. A. Balseiro Comisión Nacional de Energía Atómica (Argentina). Centro Atómico Bariloche. Instituto de Física "Dr. J. A. Balseiro". Comisión Nacional de Energía Atómica (Argentina). Universidad Nacional de Cuyo (Argentina) 1980 TESIS DE DOCTORADO Versión publicada application/pdf https://www.cnea.gob.ar/nuclea/handle/10665/2317 spa
institution Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA)
institution_str I-64
repository_str R-170
collection Nuclea - Repositorio Institucional de la Comisión Nacional de Energía Atómica (CNEA)
language Español
topic Pulverización catódica.
CATHODE SPUTTERING
ATOM COLLISIONS
ANGULAR DEPENDENCY
CREEP
ROUGHNESS
spellingShingle Pulverización catódica.
CATHODE SPUTTERING
ATOM COLLISIONS
ANGULAR DEPENDENCY
CREEP
ROUGHNESS
Oliva Florio, Alberto R.
topic_facet Pulverización catódica.
CATHODE SPUTTERING
ATOM COLLISIONS
ANGULAR DEPENDENCY
CREEP
ROUGHNESS
description Fil: Oliva Florio, Alberto R. Comisión Nacional de Energía Atómica; Argentina
author2 Instituto de Física "Dr. J. A. Balseiro". Comisión Nacional de Energía Atómica (Argentina). Universidad Nacional de Cuyo (Argentina)
author_facet Instituto de Física "Dr. J. A. Balseiro". Comisión Nacional de Energía Atómica (Argentina). Universidad Nacional de Cuyo (Argentina)
Oliva Florio, Alberto R.
format TESIS DE DOCTORADO
Versión publicada
author Oliva Florio, Alberto R.
author_sort Oliva Florio, Alberto R.
publisher Universidad Nacional de Cuyo (Argentina). Instituto de Física "Dr. J. A. Balseiro
publishDate 1980
url https://www.cnea.gob.ar/nuclea/handle/10665/2317
_version_ 1809313421541244928