Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Milano, O., Malatto, L., Fraigi, L., Lupi, D., INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR, Jornadas de desarrollo e innovación, 5, Otras actividades tecnológicas, construcciones aplicación interna
Formato: conferenceObject
Lenguaje:Español
Publicado: INTI 2004
Materias:
Microelectrónica
Contaminación ambiental
Partículas
Acceso en línea:http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASH3df2/27e5e19d.dir/doc.pdf
Aporte de:
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) de INTI

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