Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos
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Autores principales: | , , , , , , |
---|---|
Formato: | conferenceObject |
Lenguaje: | Español |
Publicado: |
INTI
2004
|
Materias: | |
Acceso en línea: | http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASH3df2/27e5e19d.dir/doc.pdf |
Aporte de: |
id |
I60-R166HASH3df227e5e19dae3d276de5 |
---|---|
record_format |
dspace |
institution |
INTI |
institution_str |
I-60 |
repository_str |
R-166 |
collection |
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) |
language |
Español |
orig_language_str_mv |
spa |
topic |
Microelectrónica Contaminación ambiental Partículas |
spellingShingle |
Microelectrónica Contaminación ambiental Partículas Milano, O. Malatto, L. Fraigi, L. Lupi, D. INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR Jornadas de desarrollo e innovación, 5 Otras actividades tecnológicas, construcciones aplicación interna Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
format |
conferenceObject |
author |
Milano, O. Malatto, L. Fraigi, L. Lupi, D. INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR Jornadas de desarrollo e innovación, 5 Otras actividades tecnológicas, construcciones aplicación interna |
author_facet |
Milano, O. Malatto, L. Fraigi, L. Lupi, D. INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR Jornadas de desarrollo e innovación, 5 Otras actividades tecnológicas, construcciones aplicación interna |
author_sort |
Milano, O. |
title |
Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
title_short |
Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
title_full |
Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
title_fullStr |
Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
title_full_unstemmed |
Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
title_sort |
diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos |
publisher |
INTI |
publishDate |
2004 |
url |
http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASH3df2/27e5e19d.dir/doc.pdf |
work_keys_str_mv |
AT milanoo disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos AT malattol disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos AT fraigil disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos AT lupid disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos AT intielectronicaeinformaticabuenosairesar disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos AT jornadasdedesarrolloeinnovacion5 disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos AT otrasactividadestecnologicasconstruccionesaplicacioninterna disenoconstruccionypuestaapuntodeunasalalimpiaparaprocesosmicroelectronicos |
bdutipo_str |
Repositorios |
_version_ |
1764820544417431555 |