Materias dentro de su búsqueda.
Materias dentro de su búsqueda.
Interferometry
14
Interferometric lithography
11
Extreme ultraviolet lithography
9
EUV lasers
8
X ray lasers
8
Nanopatterning
7
Polymethyl methacrylates
7
Carrier concentration
6
Extreme ultraviolet lasers
6
Interferometers
6
Photoresists
6
Ultraviolet lasers
6
Lithography
5
Nanotechnology
5
Phase shift
5
Ultraviolet radiation
5
Ar-laser
4
Capillary discharge lasers
4
Extreme Ultraviolet
4
Extreme ultraviolets
4
Fluorescence
4
High-precision
4
Hydrogen silsesquioxane
4
Laboratory environment
4
Lasers
4
NanoPatterning
4
Phase-shift interferometer
4
Phase-shifting interferometers
4
Plasmas
4
Pulsed lasers
4
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1Documento de conferencia publishedVersion
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2por Moreno, C.H., Marconi, M.C., Kanizay, K., Rocca, J.J., Uspenskii, Yu.A., Vinogradov, A.V., Pershin, Yu.A.
Publicado 1999Artículo publishedVersion -
3Artículo publishedVersion
-
4Artículo publishedVersion
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5Documento de conferencia publishedVersion
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6Artículo publishedVersion
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7por Moreno, C.H., Marconi, M.C., Kanizay, K., Rocca, J.J., Uspenskii, Yu.A., Vinogradov, A.V., Pershin, Yu.A.
Publicado 1999Artículo publishedVersion -
8Artículo publishedVersion
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