Oxidos delgados para micro y nanoelectrónica : degradación, ruptura y aplicaciones tecnológicas
El trabajo desarrollado en esta Tesis se focaliza en el estudio de mecanismos de transporteeléctrico involucrados en la degradación y eventual ruptura de películas dieléctricas (óxidosdelgados). Éstos forman parte de una infinidad de dispositivos que son fabricados en vistas deposibles aplicaciones...
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| Autor principal: | Quinteros, Cynthia Paula |
|---|---|
| Formato: | Tesis Doctoral |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2016
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/tesis_n5923_Quinteros |
| Aporte de: |
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