Resistividad eléctrica residual en películas delgadas

Ha sido bien establecido que la resistividad de las películas delgadas depende fuertemente de su estructura. Para entender mejor dicha influencia se comparó la resistividad residual (0°K) de películas obtenidas por evaporación en vacío y por ion-plating. Las películas obtenidas por esta última técni...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Broitman, Esteban Daniel, Zimmerman, Rosa
Lenguaje:Español
Publicado: 1993
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v05_n01_p280
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