Resistividad eléctrica residual en películas delgadas
Ha sido bien establecido que la resistividad de las películas delgadas depende fuertemente de su estructura. Para entender mejor dicha influencia se comparó la resistividad residual (0°K) de películas obtenidas por evaporación en vacío y por ion-plating. Las películas obtenidas por esta última técni...
Guardado en:
Autores principales: | Broitman, Esteban Daniel, Zimmerman, Rosa |
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Lenguaje: | Español |
Publicado: |
1993
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Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v05_n01_p280 |
Aporte de: |
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