Estructura de películas delgadas superconductoras de YBaCuO preparadas por PLD (deposición por láser pulsado)
Se depositaron películas delgadas superconductoras de YBa₂Cu₃O₇ (YBCO), utilizando la técnica de deposición por láser pulsado (PLD: Pulsed Laser Deposition), sobre substratos monocristalinos de SrTiO₃, MgO y Si con orientación (100). La utilización de estas películas en dispositivos electrónicos req...
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| Autores principales: | , , , , , |
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| Formato: | Artículo publishedVersion |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
Asociación Física Argentina
1997
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| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v09_n01_p399 |
| Aporte de: |
| Sumario: | Se depositaron películas delgadas superconductoras de YBa₂Cu₃O₇ (YBCO), utilizando la técnica de deposición por láser pulsado (PLD: Pulsed Laser Deposition), sobre substratos monocristalinos de SrTiO₃, MgO y Si con orientación (100). La utilización de estas películas en dispositivos electrónicos requiere de un buen control del crecimiento epitaxial y de la calidad de la microestructura. En este trabajo se estudió la influencia de la presión de oxígeno durante el crecimiento, sobre la topografia de la superficie, el grado de orientación y la microestructura de las películas en relación con las propiedades de transporte de las mismas. Se utilizó un láser excímero (XeCl -308 nm) pulsado con una frecuencia de 4 Hz. Para el análisis de la microestructura de las películas se utilizaron las técnicas de Difracción de Rayos X (DRX), Microscopía Electrónica de Barrido (MEB) y Microscopía de Fuerza Atómica (MFA). Los resultados muestran una correlación entre la microestructura y las propiedades superconductoras, encontrándose un valor óptimo de presión de oxígeno en la cámara durante el crecimiento. |
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