Estudio y puesta a punto de la técnica de medición de espesores de capas epitaxiales por el método de interferometría infrarroja

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Berset, Alberto, Grünhut, Enrique, INTI. Sector Materiales, Componentes y Sistemas Electrónicos. Buenos Aires, AR, Congreso científico del programa nacional de electrónica
Formato: conferenceObject
Lenguaje:Español
Publicado: INTI. Sector Materiales, Componentes y Sistemas Electrónicos 1979
Materias:
Mediciones
Interferometría
Espectros infrarrojos
Películas
Semiconductores
Espectrómetros
Longitud de ondas
Intrumentos de medición
Métodos de cálculo
Errores
Ruido
Factor de reflexión
Nitrógeno
Silicio
Interferencia
Resistencia eléctrica
Conductividad eléctrica
Acceso en línea:http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASHc7d6/cf33dc1d.dir/doc.pdf
Aporte de:
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) de INTI
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