Oxidos delgados para micro y nanoelectrónica : degradación, ruptura y aplicaciones tecnológicas
El trabajo desarrollado en esta Tesis se focaliza en el estudio de mecanismos de transporteeléctrico involucrados en la degradación y eventual ruptura de películas dieléctricas (óxidosdelgados). Éstos forman parte de una infinidad de dispositivos que son fabricados en vistas deposibles aplicaciones...
Autor principal: | Quinteros, Cynthia Paula |
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Otros Autores: | Palumbo, Félix |
Formato: | Tesis doctoral publishedVersion |
Lenguaje: | Español |
Publicado: |
Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
2016
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Materias: | |
Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/tesis_n5923_Quinteros https://repositoriouba.sisbi.uba.ar/gsdl/cgi-bin/library.cgi?a=d&c=aextesis&d=tesis_n5923_Quinteros_oai |
Aporte de: |
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