Microlithography world
Guardado en:
| Autor Corporativo: | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
|---|---|
| Formato: | Electrónico Revista |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
Port Washington, N.Y. :
Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE,
[1992]-2008.
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | Available in Academic Search Premier. |
| Aporte de: | Registro referencial: Solicitar el recurso aquí |
Ejemplares similares
-
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication /
Publicado: (1997) -
Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications /
Publicado: (1991) -
Computational lithography
por: Ma, Xu, 1983-
Publicado: (2010) -
Journal of electronics manufacturing
Publicado: (1991) -
Epitaxy of semiconductor layered structures : symposium held November 30-December 4, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A. /
Publicado: (1988)