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Titulos:
Plasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom.
Idiomas:
de ; de ; en
Lugar de Edición:
Karlsruhe :
Editor:
FZKA,
Fecha de Edición:
1995.
Notas #:
Bibliografía: p.50-52
Palabras clave:
Leader:
nam
Campo 003:
AR-SmCIES
Campo 008:
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Campo 041:
7^ade ^2ISO 639-1
Campo 041:
7^ade ^2ISO 639-1
Campo 041:
7^aen ^2ISO 639-1
Campo 100:
1 ^aKöhler, U.
Campo 245:
10^aPlasmaloses und Iaserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom.
Campo 246:
Campo 260:
^aKarlsruhe :^bFZKA,^c1995.
Campo 300:
^a52 p. :^bil.
Campo 500:
^aBibliografía: p.50-52
Campo 700:
1 ^aGuber, A.
Campo 700:
1 ^aBier, W.
Campo 710:
2 ^aForschungszentrum Karlsruhe^pDE
Proveniencia:
^aComisión Nacional de Energía Atómica CNEA - Sistema de Bibliotecas
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Institucion:
Comision Nacional de Energia Atomica (CNEA)
Dependencia:
Sistema de Bibliotecas

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